低温泵系统

低温泵是气体捕集泵，气态物质通过低温冷凝、低温吸附或冷冻捕集方式与泵内的冷表面结合。

低温泵的真空侧没有任何机械移动部件、油润滑或脂润滑部件。

为了产生高真空或超高真空，必须将冷表面/低温面板冷却至足够低的温度。

Leybold 莱宝的 COOLPOWER e 系列（Gifford/McMahon 原理）久经考验、高可靠的单级或双级冷冻机为低温泵提供冷却。

产品优势：

1.快速而可靠

对所有气体具有高抽速，对水 (H2O) 和氢 (H2) 的抽速更大。

冷头和压缩机的电动机转速可变，提升了冷却性能和冷却效果。

低温泵对来自工艺过程产生的颗粒或外部振动造成的机械干扰不敏感。

2.高性能

运行成本低，特别是需要高抽速的应用

3.易于操作和维护

eSL (eSmartLine) 低温泵易于操作，可使用我们的 COOL.DRIVE e 控制器或选用我们的 CRYOVISION i 可视化工具，进行自动控制和监测。

Leybold 莱宝低温泵易于维护：无需从系统上拆下泵，即可现场更换部件。